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CS Series

Features

캐패시티브 변위 센서
- 비접촉으로 변위를 측정하는 가장 효과적인 방법입니다.
- 나노미터 수준의 측정 정확도를 가지고 있습니다.
- 정밀한 거리 센서를 통해 다양한 분야에 응용이 가능합니다.

Description

* Measuring Principle 



 

 - 플레이트를 이용한 캐패시터 원리를 사용합니다.

 - 대상물과 센서 사이에 일정한 교류가 흐르면서 정전용량이 거리에 반비례하여 측정됩니다.

 - 거리에 따른 선형성 확보를 위해 중앙전극 외부에 가드전극을 사용합니다.

 - 가드와 중심전극의 전위를 균등화하여 측정 자기장이 일정하게 도달합니다.


Item

Shape

Mechanical

Sensing Area

Resolution

Measurement Ranges

Operating Temp

CS-3

 

 

1.6mm

±0.01%

5~15um

-20 ~ 100°C

CS-5

 

2.8mm

±0.01%

15~50um

-20 ~ 100°C

CS-8

 

 

5mm

±0.01%

50~150um

-20 ~ 100°C

CS-14

 

 

8mm

±0.01%

130~400um

-20 ~ 100°C


Specifications

Parameter

Capacitive Sensors

Model

CS-3

CS-5

CS-8

CS-14

Active diameter

1.6 mm

2.8 mm

5 mm

8 mm

Sensor diameter

3.0 mm

5.0 mm

8.0 mm

14.0 mm

Resolution

± 0.01%

± 0.01%

± 0.01%

± 0.01%

Nominal measuring
Range

5~15um

15~50um

50~150um

130~400um

Linearity

± 0.5%

± 0.5%

± 0.5%

± 0.5%

Sensor Active area

2.0 mm2

6.2 mm2

19.6 mm2

50.2 mm2

Operating
Temperature

 -20 ~ 100 °C

 -20 ~ 100 °C

 -20 ~ 100 °C

 -20 ~ 100 °C

Material

Stainless steel

Stainless steel

Stainless steel

Stainless steel

Model Finder

※ 중복체크 가능

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